近期，科学与工程实训中心双束扫描电子显微镜（Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope, FIB）已安装完毕，部分功能已具备开放共享条件，4月7日起面向全校区开放运行，欢迎大家送样测试。
仪器名称：双束扫描电子显微镜
制造商：Thermo Fisher
仪器型号：Scios 2 HiVac
放置地点：科研大楼117
功能说明：
双束扫描电子显微镜集场发射扫描电镜（SEM）与聚焦离子束（FIB）双功能，兼具高分辨率成像与微纳加工能力。SEM提供表面形貌、成分与晶体结构表征，FIB可精准铣削、沉积与定点切割，实现纳米级样品修饰。结合自动化切片与三维重构软件，能对样品进行亚表面与三维结构分析，同时可制备透射电镜（TEM）样品，支持多模态数据同步采集，实现“ 观察-加工-分析” 一体化，满足微纳尺度复杂表征需求。
应用范围：
通过离子束和电子束的协同作用，能够实现高精度的样品切割、成像和分析。双束扫描电子显微镜广泛应用于半导体、材料科学、生物医学等领域，尤其在纳米技术研究和微纳加工中具有不可替代的作用。
技术指标：
电子束分辨率，在 30keV，STEM 下为0.7nm，在1keV下为1.4nm，在1keV（射束减速）下为1.2nm；
电子束电流范围：1pA至400nA；
着陆能量范围：20eV至30keV；
加速电压范围：200V至30kV。
开放功能：
TEM制样、SEM剖面分析、微纳加工
测试方式：
内部单位（浙江大学、浙江大学宁波科创中心、浙大宁波理工）人员可登录仪器共享平台在线系统https://nbzjuequip.com:8081进行注册、预约，按要求填写送样信息。
请按照预约单上的送样时间，准时、及时的将样品送至设备管理员处。一般情况下，七个工作日内会完成。其他特殊情况，请联系设备管理员。
样品要求：
1、固体、块体样品，尺寸≤10mm*10mm*5mm。有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性。
2、样品导电性良好，对于导电性较差的样品需要进行喷Au/Pt处理。
3、透射样品制备只保证切出的样品厚度可以拍透射。
4、定位会采用视频或者照片的形式和预约者确认，一但确定好，后续切样发现内部结构不符合预期（比如样品内部有洞，膜层分离等情况）不再进一步制样的，会根据制样时间仍收取一定的费用。
收费标准：
送样预约，2000元/样（2小时内），超时1000元/h
设备管理员：
李老师 18941161705
邸老师 15903393973
刘老师 18394675668
