仪器名称：双束扫描电子显微镜
品牌：Thermo Fisher
安装地点：浙江大学宁波国际科创中心科研大楼117
功能说明：
双束扫描电子显微镜同时具备聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）功能，同时利用聚焦离子束进行精确刻蚀或沉积，结合两者可完成实时观测下的微纳加工与TEM样品制备。
应用范围：
通过离子束和电子束的协同作用，能够实现高精度的样品切割、成像和分析。双束电子显微镜广泛应用于半导体、材料科学、生物医学等领域，尤其在纳米技术研究和微纳加工中具有不可替代的作用。
技术指标：
电子束分辨率，在 30 keV STEM 下为 0.7 nm，在 1 keV 下为 1.4 nm，在 1 keV（射束减速）下为 1.2 nm；
电子束电流范围：1 pA 至 400 nA；
着陆能量范围：20 eV – 30 keV；
加速电压范围：200 V – 30 kV。
开放功能：
TEM样品制备、截面形貌观察、形貌分析
