仪器名称：原位扫描电子显微镜（in-situ SEM）
品牌：Thermo Fisher
安装地点：浙江大学宁波国际科创中心科研大楼117
功能说明：
原位高温蠕变扫描电子显微镜技术通过在扫描电镜（SEM）内模拟高温和应力的耦合环境，让研究人员能够实时观察材料在极端条件下的微观结构演变。这对于理解材料的失效机制、指导新材料研发至关重要。
应用范围
适用于纳米颗粒、粉末、催化剂、纳米器件、绝缘材料、敏感材料、磁性样品、金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石等材料的高分辨成像和数据采集，包括：材料的微观形貌、晶体性质等，如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能（成型性、磁性等）、界面性能（腐蚀、裂纹、热裂等）、相鉴定等，可对晶体的织构及取向差、晶粒尺寸及形状、晶界、亚晶及孪晶性质、相鉴定及相比、应变等进行分析。
技术指标：
1. 二次电子分辨率 SE resolution：0.7nm @ 30kV STEM；0.5nm @ 15kV beam deceleration；0.9nm @ 1kV；0.8nm @ 1kV beam deceleration；0.8nm @ 500V beam deceleration。
2. 电子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction, EBSD)：EBSD探测器采用最新CMOS图像传感器技术，极高的花样分析能力；EBSD像素分辨率最高达1244*1024，在此分辨率条件下，最大采集速度240点每秒；EBSD最高在线采集速度优于4500点/秒，在最高速度时花样分辨率为156x88像素；角度分辨率可达0.05度。
3. 原位高温拉伸/蠕变测试系统：载荷范围10N~10kN；载荷精度：±1N；温度范围：（1）SEM模式：室温~1200℃；（2） EBSD模式：室温~1000℃；加载行程：变形有效行程25mm；加载速率0.1μm /s～10μm /s，连续可调；位移精度：100nm；工作距离：SEM-WD：5mm～30mm ；EBSD-DD：15mm～25mm
开放功能：
常规SEM 形貌测试、电子背散射衍射分析（EBSD）、原位高温拉伸/蠕变测试
