X射线光电子能谱仪（XPS）运行通知

近期，科学与工程实训中心X射线电子能谱仪（X-ray photoelectron spectroscopy, XPS）已安装完毕，部分功能已具备开放共享条件，10月27日起面向全校区开放运行，欢迎大家送样测试。

仪器名称：X射线光电子能谱仪

制造商：Thermo Fisher

仪器型号：ESCALAB Qxi

放置地点：科研大楼102

功能说明：

X射线光电子能谱仪（XPS）是一款高性能表面分析设备，具有高灵敏度和能量分辨率（<0.5 eV），支持XPS成像（微米级空间分辨率）和多技术联用（如UPS、AES）。其自动化样品定位、智能校准及模块化设计（兼容多种样品和附件）大幅提升分析效率，配合 Avantage 软件实现一键数据处理。该设备适用于纳米材料、半导体、催化及聚合物等领域的表面化学态、元素分布及电子结构研究，兼具低损伤和高效分析特点。

应用范围：

纳米材料与薄膜：分析表面化学态、氧化程度及元素分布；

半导体与微电子：检测界面污染、掺杂效应及器件失效机制；

催化研究：表征催化剂活性位点、表面吸附物种及反应机理；

能源材料：研究电池电极、光伏材料的表面降解或界面反应；

高分子与生物材料：解析聚合物表面改性、生物相容性涂层或降解产物；

腐蚀与防护：评估金属氧化、钝化膜成分及防腐涂层性能。

技术指标：

1. 单一靶面的水冷Al阳极单色化X射线源，单色化Al靶XPS能量分辨率：FWHM（半高宽）≤0.45 eV(Ag3d5/2)；

2. 单色化Al靶XPS灵敏度≥1.8 Mcps (Ag3d5/2的分辨率为0.60 eV，X射线功率≤300W时)；

3. 电荷中和系统：PET绝缘样品的O-C=O结构中C 1s峰能量分辨(FWHM) ≤0.82 eV；

4. 紫外光电子能谱UPS：100 meV@Ag费米边时，Ag 4d计数率≥1 Mcps；

5. 团簇离子枪：Ar气体团簇，离子能量2 kV-8 kV连续可调；

6. 单束Ar离子枪：离子能量500 V-4000 V连续可调；

开放功能：

常规XPS、常规UPS、刻蚀、深度剖析、XPS线/面扫描、角分辨XPS、反射式电子能量损失谱Reels、离子散射谱ISS

测试方式：

XPS测试目前实行每周四下午集中进样测试，请不晚于星期四上午将样品送至科研大楼232室（如有加急需求提前与测试老师沟通）。内部单位（浙江大学、浙江大学宁波科创中心、浙大宁波理工）人员可在内网环境或学校VPN下登录仪器共享平台在线系统http://10.86.100.31/进行注册、预约，按要求填写送样信息。如有特殊情况，请联系设备管理员。

样品要求：

1、装品要求：粉末、块状、薄膜样品，无强磁性。单质硫、碘等挥发性元素不支持进样；

2、粉末样品：20-30mg；

3、块体或薄膜样品：尺寸不小于5*5mm，厚度≤4mm；

4、若待测元素含量低于5%，请注明实际含量。未注明则按常规元素分析；

5、默认一个样品测试一个位置，需要测试多个位置则按照多个样品计费。薄膜、块体等样品，若样品表面组分不均匀，会造成测试结果的差异；

6、其他样品具体请咨询设备管理员。

收费标准：

设备管理员：

刘老师 18394675668

李老师 18941161705

邸老师 15903393973