霍尔测量系统运行通知

科学与工程实训中心霍尔测量系统已安装完毕，部分功能已具备开放共享条件，7月1日起开放运行，欢迎大家在http://10.86.100.31/预约、送样测试。

仪器位置：科研大楼220室

仪器负责人：邸庆银（15903393973）

一、仪器信息

仪器型号：HL9900

制造商：Toho

用途功能：该仪器使用范德堡测试方法测量样品的电阳载流子浓度和迁移率。适用于多种材料，包率、括硅、化合物半导体和金属氧化物薄膜，

二、开放项目

载流子浓度和迁移率

三、仪器功能和参数

1）电阻率测试范围：

0.1mohm/sq～100Gohm/sq；

2）温度范围：两个温度点，室温和77K；

3）使用范德堡测试方法，提供四组三方向探针臂进行欧姆接触电极测试；

4）磁场：C型永久磁铁,可自动前后移动，自动旋转磁极方向；

5）磁场强度：0.5T，精度为标称值±1%；

6）磁场一致性：+/-1%(25mm直径范围内)；

7）磁极间距：33.4mm；

8）电流输出范围:

100nA～19.9 mA；1pA～10μA；

9）电压测试范围：0V～6V；

10）测试模式：AC(213Hz)/DC。

11）电阻率测试范围：10^-4 Ω/sq ~10⁶Ω/sq；

12）载流子浓度测试范围：10⁶ ~ 10²¹ cm^-3；

13）载流子迁移率测试范围：1 ~ 10⁷ cm²/V.s；

四、样品要求

1)样品尺寸为1cmx1cm，需要在样品4个角上做好电极，确保为欧姆接触，四个触点必须位于样品的边缘且任何单个触点的接触应至少比整个样品的面积小一个数量级。

2)样品必须具有均匀厚度的扁平形状，不得有任何孤立的孔，且样品必须是均匀且各向同性的。

五、收费标准

委托送样费用：100元/样。

自主上机费用：300元/小时

六、预约须知

1、内部单位（浙江大学、浙江大学宁波科创中心、浙大宁波理工）人员可在内网环境下登录仪器共享平台在线系统http://10.86.100.31/进行注册、预约，按要求填写预约或送样信息，并且将测试样品和预约单一同带至测试实验室；

2、外部单位或个人可填写外部委托测试协议单，并携带到现场或与样品一同邮寄到本中心测试；

3、本设备提供送样和上机操作两种测试方式，定期组织操作培训与考核，合格后可自行上机操作，未经培训者不得上机操作，后果自负；

4、因上机人员人为操作失误、或样品原因导致的仪器故障由委托人承担相应责任；

5、如有其他疑问，请联系仪器负责人。