科学与工程实训中心椭圆偏振光谱仪已安装完毕，部分功能已具备开放共享条件，6月27日起开放运行，欢迎大家在仪器设备开放共享平台https://10.86.100.31/lab-platform预约、送样测试。
仪器位置：科研大楼229室
仪器负责人：邸庆银（15903393973）
一、仪器信息
仪器型号：ES01A-DIX2
用途功能：是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。椭圆偏光法是一种非接触式、非破坏性的薄膜厚度、光学特性检测技术，测量的是电磁光波斜射入表面或两种介质的界面时偏振态的变化。椭偏法通过测量偏振态的变化，结合一系列的方程和材料薄膜模型，可以计算出薄膜的厚度T、折射率N和吸收率（消光系数）K。椭偏仪可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质。椭偏仪涉及领域有：半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等。
二、开放项目
测试折射率、消光系数、膜厚
三、仪器功能和参数
1、光谱范围：（DIX2）193–2500 nm
2、入射角角度范围：30°
90°；精度：0.01°
3、针对Si上100 nm的SiO2膜厚的标片时：
膜厚重复性: 0.02nm；膜厚测试精度:0.9nm；折射率重复性:0.002；折射率测试精度:0.09；
四、样品要求
1. 膜本身的厚度测试范围是0.5nm-10um（不含基底），目前可测范围，最低200nm，最高30000nm，不同的测试范围，其他测试条件会有所不同，具体可与项目经理沟通确认；
2. 确保样品上下表面平整，否则测不了；
3. 确保被测表面光滑，测试时能有反射光束被接收，否则测不了。送样前可以通过激光笔照射样品表面，能观察到有反射光束方可；
4. 如果被测样品是透明块体（不是膜），底面需要经过打磨成毛玻璃状，防止反射光；
5. 确保被测区域面积大于5mm2；
6. 有基底的样品需提供一份空白基底方便拟合。基底若需要单独测试，请在备注中说明，否则会选用数据库中的基底数据进行分析
五、收费标准
自主上机（校内）：
粗糙度轮廓测试：300元/小时
送样测试（校内）：
粗糙度轮廓测试：120元/样（单层膜）；多层膜一样一议
六、预约须知
1、内部单位（浙江大学、浙江大学宁波科创中心、浙大宁波理工）人员可在内网环境下（或者校内VPN）登录仪器共享平台在线系统https://10.86.100.31/进行注册、预约，按要求填写预约或送样信息，并且将测试样品和预约单一同带至测试实验室；
2、外部单位或个人可填写外部委托测试协议单，并携带到现场或与样品一同邮寄到本中心测试；
3、本设备提供送样和上机操作两种测试方式，定期组织操作培训与考核，合格后可自行上机操作；
4、因上机人员人为操作失误、或样品原因导致的仪器故障由委托人承担相应责任；
5、如有其他疑问，请联系仪器负责人。
