科学与工程实训中心台阶仪已安装完毕，部分功能已具备开放共享条件，6月27日起开放运行，欢迎大家在仪器设备开放共享平台https://10.86.100.31/lab-platform预约、送样测试。
仪器位置：科研大楼229室
仪器负责人：李雨佳（0574-88227127，18941161705）
一、仪器信息
仪器型号：DEKTAK XT
制造商：BRUKER（布鲁克）
用途功能：台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器，主要用于测量材料表面的台阶和微观形貌。在纳米加工领域，台阶仪不仅能准确评估材料的表面形貌和结构，同时也为纳米加工过程的控制和优化提供了可靠的依据。利用台阶仪实时观测材料表面的微观变化，并对其进行全面的分析和表征，这对于了解材料的晶体结构和电子性质等方面至关重要。它通过触针沿被测表面滑过，利用表面的微小峰谷使触针作上下运动，从而反映表面轮廓情况。传感器输出的电信号经测量电桥、放大与相敏整流后，得到与触针位移成正比的缓慢变化信号，再经噪音滤波器和波度滤波器处理，得到表面的高度、宽度和深度等信息。台阶仪在科半导体、微电子、太阳能、触摸屏、纳米薄膜、超高亮度发光二极管（LED）、OLED、生物学、材料科学等领域有广泛的应用，例如在研究半导体器件性能时测量表面形貌和台阶深度，以及在工业生产中检测产品表面的质量和完整性。
二、开放项目
透射、吸收、绝对反射率等测试；配备ATR附件；支持热红联用
三、仪器功能和参数
1、单次扫描长度：50 μm-55 mm；
2、垂直测量范围：1mm；
3、垂直分辨率：1nm（65.5μm），8nm（524μm），15nm（1mm），1Å（6.5μm）；
4、探针压力：1-15 mg；
5、探针曲率半径2μm
6、样品台尺寸：8英寸
四、样品要求
1，有磁性的、软的样品不能测试；
2、样品表面不要有液体成分，样品底部及表面相对平整，无明显的变形弯曲；
3、样品高度不要超过50mm；
4、最小可测到10nm左右厚度，更适合50纳米以上100微米以下的样品测试，测试区域比较大，水平方向可扫描200um到4000um范围；
5、默认在室温下测试；测试目的主要有台阶高度、表面粗糙度；
6、因为是探针接触式测量，如果是有弹性的物质，推荐使用“三维干涉显微镜”测试。与“原子力显微镜”最大区别一是容忍粗糙度大的样品，二是测试区域大。
五、收费标准
自主上机（校内）：
粗糙度轮廓测试：120元/小时
送样测试（校内）：
粗糙度轮廓测试：50元/样
六、预约须知
1、内部单位（浙江大学、浙江大学宁波科创中心、浙大宁波理工）人员可在内网环境下（或者校内VPN）登录仪器共享平台在线系统https://10.86.100.31/进行注册、预约，按要求填写预约或送样信息，并且将测试样品和预约单一同带至测试实验室；
2、外部单位或个人可填写外部委托测试协议单，并携带到现场或与样品一同邮寄到本中心测试；
3、本设备提供送样和上机操作两种测试方式，定期组织操作培训与考核，合格后可自行上机操作；
4、因上机人员人为操作失误、或样品原因导致的仪器故障由委托人承担相应责任；
5、如有其他疑问，请联系仪器负责人。
